发明授权
- 专利标题: 一种深大磁环环壁的清洗系统及方法
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申请号: CN202311409494.4申请日: 2023-10-27
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公开(公告)号: CN117316746B公开(公告)日: 2024-07-09
- 发明人: 李航 , 吴木泉 , 朱翔 , 林晓东
- 申请人: 深圳大学
- 申请人地址: 广东省深圳市粤海街道南海大道3688号
- 专利权人: 深圳大学
- 当前专利权人: 深圳大学
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市粤海街道南海大道3688号
- 代理机构: 西安铭泽知识产权代理事务所
- 代理商 季雨薇
- 主分类号: H01J37/244
- IPC分类号: H01J37/244 ; H01J37/32 ; B08B7/00
摘要:
本发明公开了一种深大磁环环壁的清洗系统及方法,属于磁环壁清理技术领域,清洗系统包括:微波注入装置,用于穿过微波注入位置窗口后在共振面产生等离子体;多个探针靶板,安装在真空室内壁的垂直方向、底面和顶面;每个探针靶板上均设置有多个沿探针靶板长度方向直线排列的探针;探针与等离子体接触后产生电压信号;控制模块,用于控制TF和VF线圈通电执行清洗,根据产生的电压信号,获得等离子体横向和纵向的壁表面电子密度分布,计算清洗前预设的电子密度峰值位置与清洗后实际电子密度峰值位置的偏移量,并判断该偏移量是否在预设的允许范围内,若在允许范围之外,通过改变偏移量,使密度峰值接近预设位置,该系统能够提高磁环壁清洗的均匀度。
公开/授权文献
- CN117316746A 一种深大磁环环壁的清洗系统及方法 公开/授权日:2023-12-29