发明公开
- 专利标题: 一种热控结构及其热控方法
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申请号: CN202311384930.7申请日: 2023-10-24
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公开(公告)号: CN117348358A公开(公告)日: 2024-01-05
- 发明人: 彭海峰 , 孙冬辉 , 李澧 , 周连生 , 倪明阳 , 隋永新 , 杨怀江
- 申请人: 长春国科精密光学技术有限公司
- 申请人地址: 吉林省长春市经开区东南湖大路3608号国科精密
- 专利权人: 长春国科精密光学技术有限公司
- 当前专利权人: 长春国科精密光学技术有限公司
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市经开区东南湖大路3608号国科精密
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 刘珂
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; H05B3/20 ; H05B1/02
摘要:
本申请公开了一种热控结构,包括与加热对象直接接触的低精度加热器,所述低精度加热器的另一面固定有加热器基板,所述加热器基板的另一面固定有高精度加热器,所述高精度加热器的另一面固定有温度控制边界体,所述温度控制边界体的另一面固定有多个温度测试部件。上述热控结构能够使测温边界有更高的温度一致性,降低对温度控制算法的要求,降低恒温边界的实现难度,而且能够减少温度传感器的布置数量,降低制作成本。本申请还公开了一种热控方法,具有同样的优点。
IPC分类: