一种热控结构及其热控方法
摘要:
本申请公开了一种热控结构,包括与加热对象直接接触的低精度加热器,所述低精度加热器的另一面固定有加热器基板,所述加热器基板的另一面固定有高精度加热器,所述高精度加热器的另一面固定有温度控制边界体,所述温度控制边界体的另一面固定有多个温度测试部件。上述热控结构能够使测温边界有更高的温度一致性,降低对温度控制算法的要求,降低恒温边界的实现难度,而且能够减少温度传感器的布置数量,降低制作成本。本申请还公开了一种热控方法,具有同样的优点。
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