压电直线电机的滤波器型二阶终端离散滑模控制器

    公开(公告)号:CN113315413B

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202110675463.8

    申请日:2021-06-17

    IPC分类号: H02N2/06

    摘要: 一种压电直线电机的滤波器型二阶终端离散滑模控制器,属于控制工程技术领域。本发明的目的是减弱了传统离散滑模控制器在对强非线性被控对象进行控制时超调较大、调节时间较长、易振荡等问题对控制精度的影响,实现了对压电直线电机高精度控制的压电直线电机的滤波器型二阶终端离散滑模控制器。本发明根据频域性能指标设计串联校正控制器;在设计的串联校正控制器基础上,引入扰动估计项,建立带有扰动估计的压电直线电机的等效输入‑输出动态模型;在系统精确模型难以获得的情况下,设计基于带有扰动估计的动态模型设计滤波器型2‑TDSMC。本发明对提高电机的定位精度,推进超高精密领域与集成电路制造产业的发展具有十分(56)对比文件Xu, HX等“.Discrete-time outputintegral sliding mode control for apiezo-motor driven linear motion stage”.《2008 INTERNATIONAL WORKSHOP ON VARIABLESTRUCTURE SYSTEMS》.2018,第124-129页.

    一种二自由度压电驱动器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114884393A

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202210681516.1

    申请日:2022-06-16

    IPC分类号: H02N2/00

    摘要: 本申请公开了一种二自由度压电驱动器,包括:机座、运动轴、压电驱动组件,运动轴可转动和可移动地连接在机座上,压电驱动组件设于机座上,压电驱动组件均包括两组压电驱动单元,其中一组压电驱动单元用于对运动轴产生钳位运动,另一组压电驱动单元用于对运动轴产生驱动运动,通过对两组压电驱动单元的驱动电压的时序控制,运动轴在两组压电驱动单元的交替驱动和钳位作用下进行直线运动输出和旋转运动输出。

    金刚石车削自由曲面的路径生成方法、系统及相关组件

    公开(公告)号:CN109143966A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201811124021.9

    申请日:2018-09-26

    IPC分类号: G05B19/19

    摘要: 本申请公开了一种金刚石车削自由曲面的路径生成方法,所述方法包括首先根据刀具半径和刀痕残差高度得到螺旋线圈数与螺旋线半径的拟合曲线方程,然后将所得到的拟合曲线方程代入目标工件的自由曲面方程得到一元函数,并在一元函数上利用插值误差理论确定目标工件上的待加工点;最后通过刀具半径补偿得到所有刀位点,并生成车削路径。本方法能够根据待加工工件的形状特征和加工误差要求生成加工路径,不但能够极大减少数据点的数量,而且使加工后的工件各个部分插值误差均匀,提高车削加工的质量。本申请还公开了一种金刚石车削自由曲面的路径生成系统、一种计算机可读存储介质及一种金刚石车削设备,具有以上有益效果。

    一种用于光学检测的气浮支撑工装

    公开(公告)号:CN108981521A

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201810295949.7

    申请日:2018-03-30

    IPC分类号: G01B5/00 G01B11/24 G01B11/255

    摘要: 本发明公开了一种用于光学检测的气浮支撑工装,包括底座和安装于底座的定心机构,定心机构包括设置于底座上方的定心座、固定连接定心座的定心平台和安装于定心座及定心平台之间的定心平面螺纹滚轮,定心平面螺纹滚轮连接有多个用于径向定位光学元件的软爪,旋转定心平面螺纹滚轮能够带动多个软爪同步径向移动,多个软爪中心设置有用于支撑光学元件的气浮支撑组件。通过定心机构进行径向定位,提高测量准确度。提高了检测效率,保证检测结果更加准确,光学元件的面型变化更加微小,提升了检测结果的可信度。

    一种用于干涉仪的姿态调节装置

    公开(公告)号:CN108489380A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201810263616.6

    申请日:2018-03-28

    IPC分类号: G01B9/02

    摘要: 本发明公开了一种干涉仪的姿态调节装置,包括外框和内框,内框与外框经第一铰接件铰接连接以实现内框在空间的转动,内框上设有与其固连的驱动输入件,外框设有与驱动输入件配合的调节组件,驱动输入件在调节组件的带动下、带动内框以第一铰接件为固定转动点实现空间转动。应用该装置,内框与姿态待调节设备连接,内框与外框经第一铰接件铰接,第一铰接件作为一个固定旋转点,内框连接有驱动输入件,在外框上设有与驱动输入件配合的调节组件,通过调节组件将力传递至驱动输入件,驱动输入件以第一铰接件为固定转动点转动,进而带动内框实现在空间内的转动,以实现与内框连接的姿态待调节设备与干涉仪光轴之间的倾斜角度的调整。

    一种热控结构及其热控方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117348358A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311384930.7

    申请日:2023-10-24

    IPC分类号: G03F7/20 H05B3/20 H05B1/02

    摘要: 本申请公开了一种热控结构,包括与加热对象直接接触的低精度加热器,所述低精度加热器的另一面固定有加热器基板,所述加热器基板的另一面固定有高精度加热器,所述高精度加热器的另一面固定有温度控制边界体,所述温度控制边界体的另一面固定有多个温度测试部件。上述热控结构能够使测温边界有更高的温度一致性,降低对温度控制算法的要求,降低恒温边界的实现难度,而且能够减少温度传感器的布置数量,降低制作成本。本申请还公开了一种热控方法,具有同样的优点。

    金刚石车削自由曲面的路径生成方法、系统及相关组件

    公开(公告)号:CN109143966B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201811124021.9

    申请日:2018-09-26

    IPC分类号: G05B19/19

    摘要: 本申请公开了一种金刚石车削自由曲面的路径生成方法,所述方法包括首先根据刀具半径和刀痕残差高度得到螺旋线圈数与螺旋线半径的拟合曲线方程,然后将所得到的拟合曲线方程代入目标工件的自由曲面方程得到一元函数,并在一元函数上利用插值误差理论确定目标工件上的待加工点;最后通过刀具半径补偿得到所有刀位点,并生成车削路径。本方法能够根据待加工工件的形状特征和加工误差要求生成加工路径,不但能够极大减少数据点的数量,而且使加工后的工件各个部分插值误差均匀,提高车削加工的质量。本申请还公开了一种金刚石车削自由曲面的路径生成系统、一种计算机可读存储介质及一种金刚石车削设备,具有以上有益效果。

    一种球体抛光装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108000342B

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201810082841.X

    申请日:2018-01-29

    摘要: 本发明公开了一种球体抛光装置,包括用于悬浮支撑球体的抛光组件,抛光组件包括:抛光液循环系统,抛光液循环系统包括用于为抛光液提供压力的压力泵;抛光头,抛光头的内表面设置有多道沟槽;用于驱动抛光头旋转的驱动机构;用于将抛光液输送至抛光头的内表面的输送管道。该装置可以有效避免在抛光过程中球体表面留下加工变质层和微裂纹等缺陷,从而进一步提升了球体的加工质量和加工精度。

    测量系统及测量数字电影放映机光学参数的方法

    公开(公告)号:CN107560832A

    公开(公告)日:2018-01-09

    申请号:CN201710795982.1

    申请日:2017-09-06

    IPC分类号: G01M11/04

    摘要: 本申请公开了一种测量系统,包括:光测量传感器;带动光测量传感器在竖直面内沿水平方向和竖直方向移动的移动装置;控制移动装置和光测量传感器工作的控制装置;与控制装置通信连接数据分析装置。上述的测量系统,在对数字电影放映机的光学参数进行测量时,能够使光测量传感器对竖直面内光测量传感器所能到达的任意位置点进行测量,使得测量的灵活性、扩展性以及测量精度均得到了显著的提升。而且,在光测量传感器能够移动的前提下,只需使用一个光测量传感器就可实现一键式的多点自动测量,在减小测量人员工作负担、提高测量效率的同时,还不会令测量成本升高。本发明还提供了适用于上述测量系统的一种测量数字电影放映机的光学参数的方法。