本发明涉及一种基于纳克能的齿轮表面超精密加工装置及方法。本发明包括工作平台、运动模块和加工模块，所述运动模块的底部和加工模块的底部均安装在工作平台上，所述运动模块用于调整加工模块的高度，所述加工模块包括超声刀柄机构、模具、装夹机构和位置调整机构，待加工的工件与超声刀柄机构安装后能够放置在模具中，所述模具安装在装夹机构上，所述装夹机构设置在位置调整机构上，所述模具根据待加工零件的外形随形设计，所述模具中设置有纳米级的磁流变液，所述装夹机构为电磁铁，还包括有用于调节磁场的大小及方向，进而控制磁流变液中磁性颗粒的运动的变频器。本发明极大的提高了零件的超精密加工效率，提高了零件的表面质量。