发明公开
摘要:
本发明属于氮化铝单晶生长技术领域,具体涉及一种B掺杂AlN单晶及制备方法。所述B掺杂AlN单晶的制备方法为:设计坩埚内部的温区分隔套筒;使得分隔套筒将坩埚底部划分为低温区和高温区;在分隔套筒内部低温区内放入氮化硼多晶颗粒料,分隔套筒外部高温区填充氮化铝原料,然后进行B掺杂AlN单晶的生长。采用本发明的方法,能够实现掺杂的B源与AlN原料同时进行升华,而不存在分层现象,从而使得B元素能够在AlN单晶内均匀分布,而不存在偏析或者掺杂元素富集现象,使得元素掺杂更加均匀,并且不会对单晶生长产生附加难度,通过控制B元素与Al元素的掺杂比获得了结晶质量高、掺杂均匀的B掺杂AlN单晶。
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