发明公开
CN117401644A 微机电装置及其制造方法
审中-实审
- 专利标题： 微机电装置及其制造方法
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申请号： CN202210789543.0申请日： 2022-07-06
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公开(公告)号： CN117401644A公开(公告)日： 2024-01-16
- 发明人: 张汇文 , 拉奇许·昌德 , 周国富 , 罗希特·普利卡尔·基扎克伊尔 , 拉玛奇德拉玛尔斯·彼拉迪·叶蕾哈卡
- 申请人： 世界先进积体电路股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹县
- 专利权人： 世界先进积体电路股份有限公司
- 当前专利权人： 世界先进积体电路股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹县
- 代理机构： 深圳新创友知识产权代理有限公司
- 代理商 刘莉
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B81B7/00 ; B81B7/02
摘要：
一种微机电装置，包含支撑基板、空腔、停止部件、微机电结构和键合介电层。空腔位于支撑基板的顶面，停止部件与空腔相邻，停止部件的顶面与支撑基板的顶面在同一高度。微机电结构设置于支撑基板上，微机电结构包含质量块和悬臂，质量块设置在停止部件正上方，悬臂设置在空腔正上方，键合介电层设置在支撑基板的顶面和微机电结构的底面之间。
