发明授权
- 专利标题: 一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置
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申请号: CN202311291163.5申请日: 2023-10-08
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公开(公告)号: CN117401717B公开(公告)日: 2024-08-30
- 发明人: 李亚龙 , 万昆 , 张晓星 , 杨照迪
- 申请人: 湖北工业大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区南李路28号
- 专利权人: 湖北工业大学
- 当前专利权人: 湖北工业大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区南李路28号
- 代理机构: 武汉宇晨专利事务所
- 代理商 董路
- 主分类号: C01G41/04
- IPC分类号: C01G41/04 ; B01J19/12 ; B01J19/00 ; B01J4/00
摘要:
本发明公开了一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置,本发明利用高温和光催化的联合作用对SF6气体进行降解,SF6气体降解为氟粒子和低氟硫化物(SFx),氟粒子和低氟硫化物(SFx)与钨金属发生氟化反应,合成WF6电子特气,不仅实现SF6的氟资源利用,而且以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离体子反应器中进行反应,操作安全,能耗低。
公开/授权文献
- CN117401717A 一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置 公开/授权日:2024-01-16
IPC分类: