一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置
摘要:
本发明公开了一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置,本发明利用高温和光催化的联合作用对SF6气体进行降解,SF6气体降解为氟粒子和低氟硫化物(SFx),氟粒子和低氟硫化物(SFx)与钨金属发生氟化反应,合成WF6电子特气,不仅实现SF6的氟资源利用,而且以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离体子反应器中进行反应,操作安全,能耗低。
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