一种六氟化钨合成反应装置

    公开(公告)号:CN118217894A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410641686.6

    申请日:2024-05-23

    发明人: 吴泳锡

    摘要: 本发明公开了一种六氟化钨合成反应装置,涉及六氟化钨生产技术领域。该六氟化钨合成反应装置,包括反应室,还包括:喷粉组件,所述喷粉组件设于反应室上端,且所述喷粉组件包括:喷粉筒,所述喷粉筒下部位于反应室内,且喷粉筒下部筒壁上开设有喷粉孔,该六氟化钨合成反应装置,通过设置喷粉组件,通过在初始进料状态就使钨粉和氟气同时喷入反应室内,避免将钨粉事先投入反应室内,再将非活性气体以高压气流的形式使反应室内的钨粉其流化的步骤,从而简化上料步骤,也避免了后期六氟化钨气体与非活性气体的分离,并且避免了非活性气体占用反应室内部空间导致的影响氟气与钨粉接触的情况,提高反应效率。

    一种电子级六氟化钨纯化装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116854139A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202310963982.3

    申请日:2023-08-01

    IPC分类号: C01G41/04

    摘要: 本发明公开了一种电子级六氟化钨纯化装置,包括:加热管,用于将六氟化钨混合气加热至150℃‑400℃;缓冲罐,其一端与所述加热管相连通,另一端设置有连通管;还原塔,其底部与所述连通管相连通,顶部设置有排气管;以及填料管,且设置于所述还原塔中,且为透气结构并使得六氟化钨混合气仅能够穿过填料管从排气管排出,所述填料管中填充有钨粒,所述填料管能够根据六氟化钨混合气的进气量自动排出已使用的钨粒并填充补充新的钨粒。

    一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN116618190A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310896060.5

    申请日:2023-07-21

    IPC分类号: B04B5/12 C01G41/04 B04B13/00

    摘要: 本发明公开了一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法。所述系统包括反应器、低温收集罐、气液分离器、压缩机,所述气液分离器包括控制器,所述控制器包括平衡模型建立模块、综合优化模型建立模块、转换优化模型建立模块、最优控制条件确定模块,所述控制器根据最优控制条件对气液分离器实施控制。本发明以逸散六氟化钨浓度、气液分离器搅拌桨转速作为寻优目标,确立最优控制条件,能够根据实际工况进行调节控制,提高气液分离的效率,并降低了能耗。

    一种五氯化钨的制备及纯化方法

    公开(公告)号:CN113651362B

    公开(公告)日:2023-02-17

    申请号:CN202110992161.3

    申请日:2021-08-27

    IPC分类号: C01G41/04

    摘要: 本发明提出一种五氯化钨的制备及纯化方法,涉及五氯化钨提纯技术领域。上述五氯化钨的制备及纯化方法包括以下步骤:预处理:将钨粉放置在上层,六氯化钨设置在下层;氯化反应:将氯气通入过量的所述钨粉表面反应制得五氯化钨粗品;纯化反应:将所述五氯化钨粗品加热至280‑300℃进行升华,再进行凝华制得高纯五氯化钨。上述五氯化钨的制备及纯化方法采用过量钨粉、氯气作为原料,六氯化钨为下层粉体保护层制备五氯化钨,再利用升华炉进行纯化,制备高纯度五氯化钨。

    超高纯度钨氯化物
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115626662A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211472520.3

    申请日:2019-12-17

    IPC分类号: C01G41/04

    摘要: 可冷凝金属卤化物材料例如但不限于六氯化钨和五氯化钨可以用于在化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺中沉积金属膜或含金属膜。本文描述的是用于纯化六氯化钨和五氯化钨原料的高纯度六氯化钨和五氯化钨系统和方法。提供了纯化的六氯化钨和五氯化钨,其含有小于10ppm,优选小于5ppm,更优选小于1ppm,最优选小于0.5ppm的铁和/或钼,和小于10ppm,优选小于5ppm的所有其它痕量金属总和,其包括但不限于铝、钾和钠。

    一种用于制备六氟化钨的氟化炉

    公开(公告)号:CN114011364A

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111261361.8

    申请日:2021-10-28

    IPC分类号: B01J19/18 B01J4/00 C01G41/04

    摘要: 本发明提供了一种用于制备六氟化钨的氟化炉,包括烘炉,所述烘炉上下两内壁之间转动安装有转轴,所述烘炉左右两外壁上设置有氟气进管,所述烘炉后侧外壁上设置有电热加温装置,所述转轴上固定套装有星形架,星形架上对接插装有半圆钨粉托盘,所述烘炉顶部设置有电机;所述烘炉左右两内壁上安装有多个布气管,布气管位于半圆钨粉托盘上方,所述烘炉内安装有多处驱动机构,驱动机构与布气管连接,用于驱动布气管转离半圆钨粉托盘上方,所述烘炉内安装有多处锤振机构,每处锤振机构均与半圆钨粉托盘接触,用于锤振半圆钨粉托盘内的钨粉。本发明能够使氟气与半圆钨粉托盘内的钨粉充分接触进行反应,进一步提升了氟化反应的均匀性和氟化钨的制备质量。

    六氟化钨的制造方法、其纯化方法和六氟化钨

    公开(公告)号:CN113597407A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202080021805.8

    申请日:2020-03-19

    IPC分类号: C01G41/04

    摘要: 本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序:反应工序,使钨与含氟元素的化合物气体反应,得到含有六氟化钨和包含氟化氢的杂质的混合物;和,排出工序,将混合物蒸馏,在该蒸馏时,执行交替地进行积存操作和吹扫操作的排出操作至少2次以上,从而得到六氟化钨。

    六氟化钨的制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111491893A

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN201880081620.9

    申请日:2018-10-04

    IPC分类号: C01G41/04

    摘要: 本发明提供一种使钨与含氟气体在800℃以上进行反应而制造六氟化钨的方法。本发明的方法中,与边将反应温度控制为400℃以下边由含氟气体与金属钨得到六氟化钨的现有技术相比,能够增加单位反应容器中的制造量。反应容器中,优选装备有用于将反应容器的内壁面温度保持为400℃以下的制冷剂夹套。