一种耐高温低介电损耗SiBCN复相陶瓷的制备方法
摘要:
一种耐高温低介电损耗SiBCN复相陶瓷的制备方法,它涉及SiBCN复相陶瓷的制备方法。本发明要解决现有SiBCN陶瓷难以制备得到致密的块体陶瓷,且其介电常数和介电损耗相对较高的问题。方法:一、浆料制备;二、先驱体浆料固化;三、陶瓷热解;四、热处理。本发明用于耐高温低介电损耗SiBCN复相陶瓷的制备。
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