发明公开
- 专利标题: 蓝宝石晶片退火前清洗方法
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申请号: CN202311715352.0申请日: 2023-12-13
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公开(公告)号: CN117463691A公开(公告)日: 2024-01-30
- 发明人: 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 陈应红
- 申请人: 广东先导先进材料股份有限公司
- 申请人地址: 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
- 专利权人: 广东先导先进材料股份有限公司
- 当前专利权人: 广东先导先进材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
- 代理机构: 北京五洲洋和知识产权代理事务所
- 代理商 张向琨
- 主分类号: B08B3/08
- IPC分类号: B08B3/08 ; B08B3/12 ; B08B3/02 ; B08B1/12 ; B08B1/32
摘要:
提供一种蓝宝石晶片退火前清洗方法,所述蓝宝石晶片退火前清洗方法至少适用于8英寸的蓝宝石晶片表面碳化硼研磨后且在退火前的清洗,所述蓝宝石晶片退火前清洗方法包括步骤:S1,采用碱性金属清洗剂配制成的水溶液超声清洗;S2,采用去离子水超声清洗;S3,将蓝宝石晶片置于纯水中双面刷洗,刷洗过程中保持冲水;S4,采用酸溶液超声清洗;S5,采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片,同时转动蓝宝石晶片;S6,采用碱溶液超声清洗;S7,采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片,同时转动蓝宝石晶片;S8,采用去离子水超声清洗;S9,采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片,同时转动蓝宝石晶片;S10,将蓝宝石晶片放置在自动甩干机中甩干。
IPC分类: