蓝宝石晶片退火前清洗方法
摘要:
提供一种蓝宝石晶片退火前清洗方法,所述蓝宝石晶片退火前清洗方法至少适用于8英寸的蓝宝石晶片表面碳化硼研磨后且在退火前的清洗,所述蓝宝石晶片退火前清洗方法包括步骤:S1,采用碱性金属清洗剂配制成的水溶液超声清洗;S2,采用去离子水超声清洗;S3,将蓝宝石晶片置于纯水中双面刷洗,刷洗过程中保持冲水;S4,采用酸溶液超声清洗;S5,采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片,同时转动蓝宝石晶片;S6,采用碱溶液超声清洗;S7,采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片,同时转动蓝宝石晶片;S8,采用去离子水超声清洗;S9,采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片,同时转动蓝宝石晶片;S10,将蓝宝石晶片放置在自动甩干机中甩干。
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