发明公开
- 专利标题: 显示面板及其制作方法、显示装置
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申请号: CN202310268921.5申请日: 2023-03-17
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公开(公告)号: CN117476671A公开(公告)日: 2024-01-30
- 发明人: 刘伟
- 申请人: 广州华星光电半导体显示技术有限公司
- 申请人地址: 广东省广州市黄埔区(中新广州知识城)亿创街1号406房之417
- 专利权人: 广州华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人: 广州华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省广州市黄埔区(中新广州知识城)亿创街1号406房之417
- 代理机构: 深圳紫藤知识产权代理有限公司
- 代理商 杨瑞
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12 ; H01L21/77 ; G02F1/1368 ; G02F1/1362
摘要:
本申请实施例公开了一种显示面板及其制作方法、显示装置;该显示面板包括衬底、有源层及有源层表面的源漏极层,源漏极层至少包括第一保护层及导电层,第一保护层在衬底上的正投影不超过导电层在衬底上的正投影,源漏极层中任一膜层的对应侧面的坡度对应的角度为50°至60°;本申请通过利用干法刻蚀、湿法刻蚀分别对第一保护层和导电层进行图案化,干法刻蚀对导电层的损伤较小,同时容易控制源漏极层的侧面坡度,适当减小源漏极层的侧面坡度,以形成源漏极层的膜层截面为正梯形的结构,且第一保护层在衬底上的正投影不超过导电层在衬底上的正投影,避免导电层内缩,降低了与源漏极层搭接膜层断裂或断线的风险,提高了显示面板的质量。
IPC分类: