显示面板及其制作方法、显示装置
摘要:
本申请实施例公开了一种显示面板及其制作方法、显示装置;该显示面板包括衬底、有源层及有源层表面的源漏极层,源漏极层至少包括第一保护层及导电层,第一保护层在衬底上的正投影不超过导电层在衬底上的正投影,源漏极层中任一膜层的对应侧面的坡度对应的角度为50°至60°;本申请通过利用干法刻蚀、湿法刻蚀分别对第一保护层和导电层进行图案化,干法刻蚀对导电层的损伤较小,同时容易控制源漏极层的侧面坡度,适当减小源漏极层的侧面坡度,以形成源漏极层的膜层截面为正梯形的结构,且第一保护层在衬底上的正投影不超过导电层在衬底上的正投影,避免导电层内缩,降低了与源漏极层搭接膜层断裂或断线的风险,提高了显示面板的质量。
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