发明公开
- 专利标题: 纵列堆叠的高压Micro LED芯片及其制作方法
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申请号: CN202311242520.9申请日: 2023-09-25
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公开(公告)号: CN117542845A公开(公告)日: 2024-02-09
- 发明人: 王洪 , 张威 , 谢军
- 申请人: 中山市华南理工大学现代产业技术研究院 , 华南理工大学
- 申请人地址: 广东省中山市火炬开发区中心城区祥兴路6号212房
- 专利权人: 中山市华南理工大学现代产业技术研究院,华南理工大学
- 当前专利权人: 中山市华南理工大学现代产业技术研究院,华南理工大学
- 当前专利权人地址: 广东省中山市火炬开发区中心城区祥兴路6号212房
- 代理机构: 广州粤高专利商标代理有限公司
- 代理商 周春丽
- 主分类号: H01L25/075
- IPC分类号: H01L25/075 ; H01L25/00 ; H01L33/00
摘要:
本发明公开了纵列堆叠的高压Micro LED芯片及其制作方法。所述芯片从下到上依次包括第二芯片、胶键合层、第一芯片和钝化层;第一芯片和第二芯片包括衬底、LED发光层和透明导电层;LED发光层包括N型GaN层、多量子阱和P型GaN层。刻蚀表面至第二芯片透明导电层,再次刻蚀表面至第一芯片的N型GaN层,形成阶梯状台面结构,沉积钝化层并开孔,沉积金属电极将第一芯片N型GaN层和第二芯片透明导电层相连,实现两个芯片电气连接。刻蚀另一侧表面至第二芯片N型GaN层,沉积钝化层并开孔,沉积金属形成N电极。本发明将两个Micro LED芯片通过纵列堆叠的方式,使其能够承受更高的工作电压。
IPC分类: