本公开提供了一种电气设备气室的真空处理自动监测方法、装置和系统，包括：在所有不具有完成标识的气室中选择任意一个气室作为当前气室并执行抽真空处理步骤；在所述当前气室满足第一预设条件时，为所述当前气室分配完成标识，并从不具有完成标识的剩余气室中选择任意一个气室作为当前气室并执行抽真空处理步骤；对具有完成标识的气室执行监测步骤，并记录所述监测步骤的执行结果。本公开实现多个气室之间抽真空与真空度测量过程的自动化切换，使整个作业过程无需现场作业人员参与，大幅减少对作业人员经验的依赖，提高真空处理效率，保证真空处理质量。