一种氮化镓器件结构
摘要:
本发明提供了一种氮化镓器件结构,该氮化镓器件结构包括:氮化镓器件结构的有源区包括多个条形栅极、多个条形源极、多个条形漏极、桥接栅极和栅极导电连接结构;且条形源极和条形漏极之间设置一条形栅极;桥接栅极位于其连接的相邻两选定条形栅极之间的外延层远离衬底的表面,桥接栅极跨越相邻两选定条形栅极之间的条形源极或者条形漏极,以连接相邻的两选定条形栅极,其中,多个条形栅极之中的部分或者全部为选定条形栅极;栅极导电连接结构位于桥接栅极远离外延层的表面,栅极导电连接结构用于接入栅极电源信号。本发明实施例的技术方案降低了氮化镓器件中的栅极电阻,提升了其在高频应用领域的电学性能。
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