本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法，包括炉体、观察窗、入料机构、摆动组件、真空组件、电子枪、电子束、铺平组件、闭合组件、支撑杆、电动杆、熔炼坩埚、冷水管、凝固坩埚，本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法，本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法，通过设置摆动组件和铺平组件，将投入原料硅分点投放，避免原料硅在熔炼坩埚内过分集中、堆积，通过装配体的转动，使装配体与熔炼坩埚平行，并驱动铺平架的移动，对原料硅进行铺平，使原料硅各处厚度相近，便于后续快速、均匀的融练，该摆动组件和铺平组件从源头避免了原料硅的堆积，便于后续均匀、快速的融练原料硅。