本发明公开了一种超高硬度高温高熵合金及其制备方法，属于合金材料技术领域。该合金组分为NbaMobTacTidVeCf，下标为对应元素的原子比，15≤a≤30，0≤b≤20，15≤c≤25，15≤d≤30，10≤e≤25，10≤f≤20，且a+b+c+d+e+f＝100。该合金综合力学性能优异：室温抗压强度高于1900 MPa，最大变形量可达20%，在1273K高温仍能保持476.1 MPa的抗压强度，表现出塑性变形行为；平均维氏硬度值可达1492.9 HV，约为304不锈钢（硬度210.0 HV）的7.1倍，可用于航空航天、国防军工等领域。同时该合金的制备方法操作简单、安全，制备效果好。