一种多槽式碱金属气室化学法六面键合装置
摘要:
本发明公开一种多槽式碱金属气室化学法六面键合装置,首先,该装置应用对象是化学法浸泡后的玻璃键合环节;其次,根据碱金属气室结构设计实现了六面键合;最后,设计了三个槽位均匀受力同时键合,将生产效率提升了三倍。本发明考虑加热膨胀,设计直角位置的排水槽,排出挥发的溶液,方便玻璃片的放置和夹取;本发明设计盖板同时对三个气室均匀施加键合外力,保证气室一致性;除了竖直方向,在水平方向设计了可自由组合的盖板;在后壁上设计了通孔可以排除蒸汽;在装置材料选择上,聚醚醚酮(PEEK)实现对化学试剂腐蚀的预防,同时保证材料硬度,耐受退火高温。本发明为基于SERF效应的磁测量装置所需碱金属气室的制备提供实用有效的指导。
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