一种Ta-DLC复合涂层材料及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种兼具优异摩擦学性能和生物相容性的Ta‑DLC复合涂层材料及其制备方法,按原子百分数计,在DLC涂层中包含元素Ta 7‑28at.%、C 72‑93at.%,采用非平衡磁控溅射技术,通过同时溅射石墨靶和Ta靶在基底表面沉积Ta‑DLC复合涂层。本发明的Ta‑DLC复合涂层中Ta元素主要以金属相存在,而Ta金属具有极强生物匹配性,Ta‑DLC复合涂层在模拟体液中浸泡后表面生成大量的羟基磷灰石层,表现出优异的生物相容性;Ta‑DLC复合涂层中Ta金属相具有较好的延展性,有利于提升复合涂层摩擦磨损性能,相比于未掺杂DLC涂层,Ta‑DLC复合涂层在模拟体液环境下表现出较优的摩擦学性能,扩大其在生物医疗器械领域的应用。
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