本发明公开了一种带背板的平面溅射靶材使用寿命的预估方法，主要针对整体原始厚度较薄、分离解绑后容易产生翘曲、靶材边缘不溅射或几乎不溅射的带背板的平面溅射靶材。具体方法是通过升温的方式分离溅射靶材与背板，通过模具硅胶确定溅射靶材最深溅射轨道，以所测边缘厚度最大值与所测最深溅射轨道厚度最小值的差值即最大厚度差作为溅射最大消耗厚度，以此为参考，预估剩余最小厚度消耗完的溅射功耗，进而预估溅射靶材使用寿命。本发明的方法操作简单，适合无三坐标仪、三维扫描仪等精密测量仪器的厂家操作，为带背板的平面靶材使用寿命的预估提供指导，保证溅射靶材的使用安全。