公开(公告)号：CN117606330A

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN202311600340.3

申请日：2023-11-28

申请人： 云南贵金属实验室有限公司 ,  贵研铂业股份有限公司

发明人： 许彦亭 ,  闻明 ,  沈月 ,  赵琪 ,  王传军 ,  普志辉 ,  施晨琦

IPC分类号： G01B5/06 ,  C23C14/35

摘要： 本发明公开了一种带背板的平面溅射靶材使用寿命的预估方法，主要针对整体原始厚度较薄、分离解绑后容易产生翘曲、靶材边缘不溅射或几乎不溅射的带背板的平面溅射靶材。具体方法是通过升温的方式分离溅射靶材与背板，通过模具硅胶确定溅射靶材最深溅射轨道，以所测边缘厚度最大值与所测最深溅射轨道厚度最小值的差值即最大厚度差作为溅射最大消耗厚度，以此为参考，预估剩余最小厚度消耗完的溅射功耗，进而预估溅射靶材使用寿命。本发明的方法操作简单，适合无三坐标仪、三维扫描仪等精密测量仪器的厂家操作，为带背板的平面靶材使用寿命的预估提供指导，保证溅射靶材的使用安全。

公开(公告)号：CN116970853A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310862536.3

申请日：2023-07-14

申请人： 云南贵金属实验室有限公司 ,  贵研铂业股份有限公司

发明人： 赵琪 ,  许彦亭 ,  闻明 ,  施晨琦 ,  李治东 ,  普志辉 ,  刘牛 ,  卯明辉

IPC分类号： C22C27/04 ,  B22F1/00 ,  B22F9/04 ,  B22F1/145 ,  B22F1/12 ,  B22F3/10 ,  B22F3/14

摘要： 本发明涉及一种钨钛靶材坯料的制备方法，包括：1)先通过纯钨粉体和纯钛粉体进行高能球磨增加两者表面缺陷程度，有利于提高烧结阶段的钨钛之间的扩散程度；2)对钨钛混合粉体进行通氢还原降低其表面氧含量；3)添加氢化钛粉体与钨钛混合粉体进行二次均匀化球磨，利用氢化钛在预烧结阶段的分解产氢作用降低块体钨钛靶材坯料内部的含氧量；4)利用预烧结和致密化烧结实现钨钛靶材坯料气体含量降低和微观结构可控性制备；5)利用热压塑性变形处理进一步提高钨钛靶材坯料的致密度和钨钛之间的扩散程度。本发明实现了对于钨钛靶材坯料致密度的提高、含氧量的降低和微观结构的可控性制备，所制备的钨钛靶材服役性能得到了提高。

公开(公告)号：CN116855789A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202310862518.5

申请日：2023-07-14

申请人： 云南贵金属实验室有限公司 ,  贵研铂业股份有限公司

发明人： 赵琪 ,  施晨琦 ,  闻明 ,  许彦亭 ,  李治东 ,  普志辉 ,  刘牛 ,  卯明辉

IPC分类号： C22C1/08 ,  C01B32/184 ,  C23G1/10 ,  C23G1/12 ,  C22C9/00 ,  C22C14/00 ,  C22C19/03 ,  C22C21/00

摘要： 本发明公开了一种原位生长石墨烯增强泡沫金属骨架基复合材料的制备方法，是将泡沫金属骨架作为基体，通过化学法结合煅烧的方法在泡沫金属骨架表面原位生长石墨烯，从而制备得到原位生长石墨烯增强泡沫金属骨架基复合材料；步骤包括：1)去除泡沫金属骨架表面的杂质；2)配制含碳有机物和碳量子点的混合溶液，将泡沫金属骨架浸泡于溶液中；3)置于放电等离子烧结系统中进行热处理。本发明在泡沫金属骨架表面原位生长石墨烯，其中石墨烯的微观形貌及含量可控；溶液浸泡法结合热处理工艺可实现石墨烯在泡沫金属骨架内部孔隙中的原位生长，从而可进一步提高泡沫金属骨架的综合服役性能。

公开(公告)号：CN118357461A

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202410465239.X

申请日：2024-04-18

申请人： 云南贵金属实验室有限公司 ,  云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司

发明人： 施晨琦 ,  闻明 ,  朱武勋 ,  王传军 ,  赵琪 ,  沈月 ,  巢云秀 ,  李思勰 ,  许彦亭

IPC分类号： B22F3/14 ,  C23C14/35 ,  B22F9/04 ,  B22F1/145 ,  B22F1/142 ,  B22F3/02 ,  C22C5/04 ,  C22C32/00 ,  C22C1/05 ,  C22C1/059

摘要： 本发明公开了一种铁铂基靶材坯料的制备方法，包括：1)先通过纯铂粉和纯铁粉进行高能球磨增加两者表面缺陷程度，有利于提高烧结阶段铁铂之间的合金化进程；2)添加第三组分粉体与铁铂粉体进行二次均匀化球磨，作为隔离剂使烧结过程中能产生完全相互隔离的铁铂晶粒；3)对混合粉体进行通氢还原降低其表面氧含量；4)利用冷压成型与热压相结合的方式实现铁铂靶材坯料微观结构可控性制备。本发明实现了对于铁铂基靶材坯料致密度的提高、含氧量降低和微观结构的可控性制备，提高了所制备铁铂靶材的服役性能。

公开(公告)号：CN118875285A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411113855.5

申请日：2024-08-14

申请人： 云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司 ,  云南贵金属实验室有限公司 ,  昆明贵研新材料科技有限公司

发明人： 赵琪 ,  陈静洪 ,  施晨琦 ,  闻明 ,  巢云秀 ,  许彦亭 ,  李治东 ,  刘牛

IPC分类号： B22F3/14 ,  C23C14/34 ,  B22F1/16 ,  B22F9/22 ,  B22F9/30 ,  B22F9/04 ,  C22C5/04

摘要： 本发明公开了一种高纯钌基合金靶材的制备方法，属于钌基合金靶材的制备技术领域。所述制备方法包括如下步骤：将氯钌酸铵和其他合金化元素球形颗粒(钽、铬、钨)进行球磨处理，使得氯钌酸铵包覆在合金化元素球形颗粒表面，有利于降低真空热压烧结温度并提高钌基合金靶材的致密度；接着将氯钌酸铵包覆合金化元素的复合粉末进行煅烧及还原处理，有利于调控钌基合金靶材的微观结构；最后将包含纯钌和合金颗粒的复合粉末进行真空热压烧结，得到钌基合金靶材坯料。本发明实现了对于高纯钌基合金靶材致密度的提高和微观结构的有效调控，降低了制备工艺复杂程度及成本，所制备的钌基合金靶材的服役性能得到了改善。