一种高稳定性Sn-Ag合金电镀液及其制备方法和应用
摘要:
本发明公开了一种高稳定性Sn‑Ag合金电镀液及其制备方法和应用,属于电镀技术领域。所述Sn‑Ag合金电镀液包含如下组分:有机酸、锡离子源、银离子源、含硫吡啶类物质、氨基酸、抗氧化剂。其中所述含硫吡啶类物质具有单硫键或双硫键。该Sn‑Ag合金电镀液具有高稳定性,可在室温下稳定存放及连续使用6个月以上,具有较宽的电流密度窗口和较高的电流效率,实现微纳尺度晶圆级平整致密的Sn‑Ag微凸点的制备,可应用于高密度集成电路芯片互连制造中。
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