发明公开
- 专利标题: 一种高稳定性Sn-Ag合金电镀液及其制备方法和应用
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申请号: CN202311660092.1申请日: 2023-12-05
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公开(公告)号: CN117626367A公开(公告)日: 2024-03-01
- 发明人: 黄明亮 , 黄斐斐 , 任婧 , 李娜 , 阎艳 , 郑立鹏
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
- 代理机构: 大连东方专利代理有限责任公司
- 代理商 周媛媛; 李馨
- 主分类号: C25D3/60
- IPC分类号: C25D3/60 ; C25D7/12 ; H01L21/768
摘要:
本发明公开了一种高稳定性Sn‑Ag合金电镀液及其制备方法和应用,属于电镀技术领域。所述Sn‑Ag合金电镀液包含如下组分:有机酸、锡离子源、银离子源、含硫吡啶类物质、氨基酸、抗氧化剂。其中所述含硫吡啶类物质具有单硫键或双硫键。该Sn‑Ag合金电镀液具有高稳定性,可在室温下稳定存放及连续使用6个月以上,具有较宽的电流密度窗口和较高的电流效率,实现微纳尺度晶圆级平整致密的Sn‑Ag微凸点的制备,可应用于高密度集成电路芯片互连制造中。