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具有泄漏反射器的BAW谐振器
Abstract:
本公开涉及一种体声波(BAW)谐振器,其包含:底部电极、具有边界环(BO)结构的顶部电极结构、夹在所述底部电极与所述顶部电极之间的压电层,以及具有嵌入在低声阻抗区中的高声阻抗层的反射器。在本文中,所述BO结构围绕所述顶部电极结构的周边形成且界定所述BAW谐振器的BO区。所述高声阻抗层竖直地位于所述底部电极之下,且通过所述低声阻抗区的第一部分与所述底部电极隔开。第一高声阻抗层的宽度小于所述顶部电极结构的宽度,使得所述第一高声阻抗层不完全延伸穿过所述BAW谐振器的所述BO区。
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