本申请提供了一种抗反射涂层及其制备方法，抗反射涂层包括BARC主树脂、交联剂、热敏酸以及溶剂，热敏酸与所述BARC主树脂的质量比大于0且小于1，溶剂与BARC主树脂的质量比大于0且小于100，交联剂与BARC主树脂的质量比大于0且小于1，交联剂的含氧数量决定抗反射层的刻蚀速率。本申请只需通过调整抗反射涂层中交联剂的含氧数量，进而无需在合成BARC主树脂的过程中添加含氧官能团，便可以实现抗反射涂层的刻蚀速率的稳定调节，提高了抗反射涂层的生产效率，降低了抗反射涂层的生产成本。