本发明涉及钢铁冶炼技术领域，具体涉及一种RH真空精炼中采用硅铁预脱氧工艺冶炼低硅钢种的方法，生产工艺路线为：铁水预处理脱硫——转炉冶炼——RH真空处理——连铸，钢水到RH后先进行定氧操作，确定钢中自由氧含量，若自由氧含量≤0.015%，则不加硅铁；若自由氧含量＞0.015%，根据公式精准计算吨钢硅铁加入量，确保硅铁完全氧化，避免富余硅铁留在钢中增硅；在RH真空处理开始后，立即加入相应质量的硅铁，为脱氧产物SiO2去除创造了充足的时间，使得生成的SiO2能在RH处理过程中得以去除，避免了SiO2夹杂污染钢水。在无需增加扒渣设备的条件下，减少了Al2O3夹杂的生成量，提高了产品的表面质量和冲压成形性能。