一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法
摘要:
本发明涉及激光加工技术领域,并提供一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法,包括:控制飞秒激光器输出飞秒激光;调整飞秒激光光路整形系统、飞秒激光偏振调整系统,使得飞秒激光脉冲平行入射到偏振合光镜中心;调整光路调整镜组中的空间角度,使得飞秒激光聚焦到工件的表面;观察示波器上显示的双激光脉冲延时序列与设定是否相同;若示波器上显示双激光脉冲延时序列与设定相同,则移动工作台面使得工件位于加工位置;若不相同,则断开脉冲序列调制器与飞秒激光器的连接,重置延时光反射镜位移台与参考光之间的距离;本发明通过时空调制的方法,得到了具有矩形光斑的双脉冲延时激光,从而实现对加工深度的精准控制。
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