发明公开
- 专利标题: 一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法
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申请号: CN202311866977.7申请日: 2023-12-31
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公开(公告)号: CN117655535A公开(公告)日: 2024-03-08
- 发明人: 杨立军 , 刘豪 , 丁烨 , 刘亚楠
- 申请人: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区
- 专利权人: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区
- 代理机构: 北京隆源天恒知识产权代理有限公司
- 代理商 徐苏明; 魏芬
- 主分类号: B23K26/352
- IPC分类号: B23K26/352 ; B23K26/06 ; B23K26/062 ; B23K26/0622
摘要:
本发明涉及激光加工技术领域,并提供一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法,包括:控制飞秒激光器输出飞秒激光;调整飞秒激光光路整形系统、飞秒激光偏振调整系统,使得飞秒激光脉冲平行入射到偏振合光镜中心;调整光路调整镜组中的空间角度,使得飞秒激光聚焦到工件的表面;观察示波器上显示的双激光脉冲延时序列与设定是否相同;若示波器上显示双激光脉冲延时序列与设定相同,则移动工作台面使得工件位于加工位置;若不相同,则断开脉冲序列调制器与飞秒激光器的连接,重置延时光反射镜位移台与参考光之间的距离;本发明通过时空调制的方法,得到了具有矩形光斑的双脉冲延时激光,从而实现对加工深度的精准控制。