电子级乙炔气体提纯方法
摘要:
本发明涉及电子特气提纯领域,尤其涉及电子级乙炔气体提纯方法,所述方法包括将乙炔原料气通入到装载有吸附组合物的吸附罐中的一级吸附除杂步骤以及与分子筛吸附剂接触的二级吸附除杂步骤,经过二级吸附除杂后的乙炔气通过压缩机压入已经充装吸附溶剂的钢瓶内。本发明通过对乙炔气体的选择性溶解以及解吸,从而实现乙炔气体以及杂质气体之间的选择性分离。并且通过一级吸附除杂以及二级吸附除杂两个步骤的联用,有效实现高效的乙炔气体提纯和充装,从而有效提高生产效率。
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