本发明公开了一种基于新型前驱体材料的氧化锆薄膜制备方法，包括如下步骤：将四(二甲氨基)锆缓慢加入环戊二烯，甲苯溶液中进行反应，反应完成后，在减压下除去溶液中的所有溶剂，将剩余的粘性黄色液体在真空下蒸馏，得到化合物CpZr(NMe2)3；将CpZr(NMe2)3作为异感官金属有机前驱体，以氧气作为氧源，通过原子层沉积(ALD)技术制备获得氧化锆薄膜。本发明通过利用新型异感官金属有机前驱体环戊二烯三(二甲基氨基)锆CpZr(NMe2)3作用于制备氧化锆薄膜的原子层沉积(ALD)工艺中，并且利用O2作为含氧反应物，能够有效提高氧化锆薄膜的质量和热稳定性。