一种铝粉刻蚀后连续原位包覆方法
摘要:
本发明提供了一种铝粉刻蚀后连续原位包覆方法,包括:步骤一,采用气相刻蚀法将第一反应前躯体和第二种反应前躯体交替通入反应腔,在铝粉颗粒表面发生表面化学反应,实现铝粉表面自发氧化层的逐层剥除,获得高活性铝粉;步骤二,对高活性铝粉,将第三种反应前躯体和第四种反应前驱体交替通入反应腔,在高活性铝粉表面原位发生表面化学反应,实现高活性铝粉的原位沉积包覆,获得刻蚀后连续原位包覆的铝粉。本发明的方法能够在刻蚀工艺后,能够防止不含自发氧化层纳米铝粉的再次氧化,本发明将在刻蚀工艺的同一设备上,真空惰性气氛下进行环境阻隔层的原位包覆,实现真正意义上的剥除与包覆改性,灵活调控铝粉反应活性、热稳定性及能量密度。
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