发明公开
- 专利标题: 一种消除动态干涉仪偏振干涉光路杂散光的方法
-
申请号: CN202311822196.8申请日: 2023-12-27
-
公开(公告)号: CN117685873A公开(公告)日: 2024-03-12
- 发明人: 陈磊 , 郭逸民 , 何勇 , 朱日宏 , 王青 , 易锐锋 , 吴志飞
- 申请人: 南京理工大学 , 南京英特飞光电技术有限公司
- 申请人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号;
- 专利权人: 南京理工大学,南京英特飞光电技术有限公司
- 当前专利权人: 南京理工大学,南京英特飞光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号;
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 朱沉雁
- 主分类号: G01B9/02001
- IPC分类号: G01B9/02001 ; G01B9/02
摘要:
本发明公开了一种消除动态干涉仪偏振干涉光路杂散光的方法,即通过改变传统泰曼‑格林动态干涉仪中1/4波片的位置和传统镜头的设计,设计了一种由可切换的第一1/4波片、定位镜头座和无镜头所组成的镜头切换组件,并将其应用于动态干涉仪偏振干涉光路中,从而通过改变镜头中各个镜片反射光束的偏振态来消除干涉过程中所产生的杂散光,使得采集得到的干涉图质量更好,解算结果更加精准,提高了光学元件整个检测过程的精度。利用这种方法可以设计出成像质量更好的镜头,以及检测精度更精准的干涉测量设备等。