发明公开
- 专利标题： 一种基于冰模板法的柔性电容式压力传感器及其制备方法
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申请号： CN202211097964.3申请日： 2022-09-08
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公开(公告)号： CN117705320A公开(公告)日： 2024-03-15
- 发明人: 彭海益 , 王菲菲 , 姚晓刚 , 林慧兴 , 任海深 , 谢天翼 , 张奕 , 何飞 , 顾忠元
- 申请人： 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 申请人地址： 上海市长宁区定西路1295号
- 专利权人： 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 当前专利权人地址： 上海市长宁区定西路1295号
- 代理机构： 上海瀚桥专利代理事务所
- 代理商 曹芳玲; 郑优丽
- 主分类号： G01L1/14
- IPC分类号： G01L1/14 ; G01L9/12 ; G01L19/00
摘要：
本发明涉及一种基于冰模板法的柔性电容式压力传感器及其制备方法。所述柔性电容式压力传感器包括：上电极层、下电极层以及分布在上电极层和下电极层之间的柔性多孔介质层；所述柔性多孔介质层包含具有有序通孔结构的多壁碳纳米管海绵骨架和部分填充且均匀分布在多壁碳纳米管海绵骨架内部的树脂材料。
