Invention Publication
- Patent Title: 用于热蒸镀系统的设备和涂布基板前表面上涂层区域的方法
-
Application No.: CN202180101092.0Application Date: 2021-07-28
-
Publication No.: CN117716061APublication Date: 2024-03-15
- Inventor: W·布劳恩
- Applicant: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Applicant Address: 德国慕尼黑
- Assignee: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Current Assignee: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Current Assignee Address: 德国慕尼黑
- Agency: 北京市中伦律师事务所
- Agent 杨黎峰; 赵嫦
- International Application: PCT/EP2021/071192 2021.07.28
- International Announcement: WO2023/006198 EN 2023.02.02
- Date entered country: 2024-01-29
- Main IPC: C23C14/00
- IPC: C23C14/00
Abstract:
本发明涉及用于热蒸镀系统(200)的设备(100)以及热蒸镀系统(200)，以利用通过电磁辐射(80)从源(30)热蒸镀和/或升华的源材料(40)涂布基板(50)的前表面(56)上的涂层区域(58)。另外，本发明涉及利用通过电磁辐射(80)从源(30)热蒸镀和/或升华的源材料(40)涂布基板(50)的前表面(56)上的涂层区域(58)的方法。
Information query
IPC分类:
