支承体薄膜的可否再利用判定方法、支承体薄膜的清洁方法、支承体薄膜的再利用方法、支承体薄膜卷的制造方法、转印性层叠薄膜卷的制造方法、支承体薄膜的可否再利用判定程序、以及支承体薄膜的可否再利用判定系统
摘要:
本发明的课题在于提供能够高效地并且高精度地判定在基于剥离转印法的层叠体制造中使用的支承体薄膜的可否再利用的支承体薄膜的可否再利用判定方法、可否再利用判定程序及可否再利用判定系统、以及利用了该支承体薄膜的可否再利用判定方法的支承体薄膜的清洁方法、支承体薄膜的再利用方法、支承体薄膜卷的制造方法及转印性层叠薄膜卷的制造方法。本发明的支承体薄膜的可否再利用判定方法的特征在于,具有:测量步骤,在输送支承体薄膜的同时,使用光学测量单元测量与残存在上述支承体薄膜上的被转印薄膜残存物相关的数据;以及判定步骤,基于测量出的与上述被转印薄膜残存物相关的数据,判定包括上述支承体薄膜是否需要清洁的可否再利用。
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