- 专利标题: 支承体薄膜的可否再利用判定方法、支承体薄膜的清洁方法、支承体薄膜的再利用方法、支承体薄膜卷的制造方法、转印性层叠薄膜卷的制造方法、支承体薄膜的可否再利用判定程序、以及支承体薄膜的可否再利用判定系统
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申请号: CN202280048454.9申请日: 2022-06-20
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公开(公告)号: CN117716229A公开(公告)日: 2024-03-15
- 发明人: 大久保康 , 增田修 , 伊香贺太平 , 西村浩 , 田坂公志 , 南条崇
- 申请人: 柯尼卡美能达株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 柯尼卡美能达株式会社
- 当前专利权人: 柯尼卡美能达株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 舒艳君
- 优先权: 2021-113596 20210708 JP
- 国际申请: PCT/JP2022/024438 2022.06.20
- 国际公布: WO2023/282034 JA 2023.01.12
- 进入国家日期: 2024-01-08
- 主分类号: G01N21/892
- IPC分类号: G01N21/892
摘要:
本发明的课题在于提供能够高效地并且高精度地判定在基于剥离转印法的层叠体制造中使用的支承体薄膜的可否再利用的支承体薄膜的可否再利用判定方法、可否再利用判定程序及可否再利用判定系统、以及利用了该支承体薄膜的可否再利用判定方法的支承体薄膜的清洁方法、支承体薄膜的再利用方法、支承体薄膜卷的制造方法及转印性层叠薄膜卷的制造方法。本发明的支承体薄膜的可否再利用判定方法的特征在于,具有:测量步骤,在输送支承体薄膜的同时,使用光学测量单元测量与残存在上述支承体薄膜上的被转印薄膜残存物相关的数据;以及判定步骤,基于测量出的与上述被转印薄膜残存物相关的数据,判定包括上述支承体薄膜是否需要清洁的可否再利用。