本发明公开了一种半导体自动物料搬运系统布局的生成方法及装置，生成方法具体包括如下步骤：对获取的用于半导体生产的设备布局信息进行解析，给出对应的物料搬运信息；分析设备布局信息及物料搬运信息，生成自动物料搬运系统的初始布局，其中，自动物料搬运系统包括轨道及存储设施；结合设备布局信息，通过物流仿真模型，对初始布局进行物流仿真验证；根据物流仿真验证的结果，优化初始布局，实现针对半导体的自动物料搬运系统布局。本发明给出的方案能快速、高效的给出适用半导体生产的自动物料搬运系统的布局，并且结合物流仿真模型验证并优化布局方案，提升半导体生产中物流运转效率，减少物流方面的投资成本。