公开(公告)号：CN117592854B

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202311592852.X

申请日：2023-11-27

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 李强 ,  程孟璇 ,  王熙程 ,  安利壮 ,  白帆 ,  蒋星波

IPC分类号： G06Q10/0639 ,  G06Q50/04

摘要： 本发明公开了半导体生产线布局中环境要素评价方法及装置，方法具体包括如下步骤：采集半导体的生产工艺流程以及半导体生产线的布局信息；给出各个生产设备的位置信息；获取影响半导体生产线布局的各个环境要素；基于距离指标，给出各个环境要素的影响度区域；结合每个生产设备对各个环境要素的抗干扰度及每个生产设备的位置信息，得到每个生产设备的环境要素评价体系，实现半导体生产线布局的各个生产设备的环境要素评价。本发明针对环境要素，结合距离、影响权重及抗干扰度等指标，以生产设备为单位，给出半导体生产线布局中环境评价结果，既能确保半导体产品的高品质和高良品率，也能指导半导体生产线布局的优化。

公开(公告)号：CN117592854A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202311592852.X

申请日：2023-11-27

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 李强 ,  程孟璇 ,  王熙程 ,  安利壮 ,  白帆 ,  蒋星波

IPC分类号： G06Q10/0639 ,  G06Q50/04

摘要： 本发明公开了半导体生产线布局中环境要素评价方法及装置，方法具体包括如下步骤：采集半导体的生产工艺流程以及半导体生产线的布局信息；给出各个生产设备的位置信息；获取影响半导体生产线布局的各个环境要素；基于距离指标，给出各个环境要素的影响度区域；结合每个生产设备对各个环境要素的抗干扰度及每个生产设备的位置信息，得到每个生产设备的环境要素评价体系，实现半导体生产线布局的各个生产设备的环境要素评价。本发明针对环境要素，结合距离、影响权重及抗干扰度等指标，以生产设备为单位，给出半导体生产线布局中环境评价结果，既能确保半导体产品的高品质和高良品率，也能指导半导体生产线布局的优化。

公开(公告)号：CN117314263A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311593620.6

申请日：2023-11-27

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 杨光明 ,  李强 ,  程星华 ,  罗桥 ,  张东 ,  单云凤 ,  陆丹 ,  程孟璇

IPC分类号： G06Q10/0639 ,  G06Q50/04

摘要： 本发明公开了一种电子工厂生产线布局的评价方法及装置，方法具体包括如下步骤：采集电子产品的生产工艺信息以及电子工厂生产线的布局信息；解析布局信息，获取布局中的建筑信息及电子工厂生产线中的各个生产设备信息；基于布局中的建筑信息，给出电子工厂生产线的生产区域信息；结合生产区域信息，匹配对应的各个生产设备；根据各个生产设备信息，结合电子产品的生产工艺信息，重构每个生产设备的工艺数据，得到每个生产设备的评价指标；对各个生产设备的每个评价指标进行分析，获取电子工厂生产线布局的评价结果。本发明针对电子工厂生产线布局的评价，结合物理布局、逻辑布局及工艺布局，实现对布局质量的准确、快速评估。

公开(公告)号：CN117724432B

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410173232.0

申请日：2024-02-07

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 李强 ,  程孟璇 ,  徐策 ,  冷芳赫 ,  安利壮 ,  王熙程 ,  赵晓妍

IPC分类号： G05B19/418

摘要： 本发明公开了一种半导体自动物料搬运系统布局的生成方法及装置，生成方法具体包括如下步骤：对获取的用于半导体生产的设备布局信息进行解析，给出对应的物料搬运信息；分析设备布局信息及物料搬运信息，生成自动物料搬运系统的初始布局，其中，自动物料搬运系统包括轨道及存储设施；结合设备布局信息，通过物流仿真模型，对初始布局进行物流仿真验证；根据物流仿真验证的结果，优化初始布局，实现针对半导体的自动物料搬运系统布局。本发明给出的方案能快速、高效的给出适用半导体生产的自动物料搬运系统的布局，并且结合物流仿真模型验证并优化布局方案，提升半导体生产中物流运转效率，减少物流方面的投资成本。

公开(公告)号：CN117932976B

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410324627.6

申请日：2024-03-21

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 李强 ,  陆丹 ,  安利壮 ,  罗桥 ,  程孟璇

IPC分类号： G06F30/20 ,  G06Q10/063 ,  G06Q50/04

摘要： 本发明公开了一种工艺机台组用能数据的获取方法及装置，获取方法具体包括如下步骤：确定用能类型，给出离散型工厂中进行用能数据获取的工艺机台组；获取工艺机台组内的工艺机台数量以及单个工艺机台的运行数据，其中，运行数据包括负荷率、开机率和用能峰值系数；基于预先构建的用能分析模型，给出工艺机台组内单个工艺机台的用能数据，以及工艺机台组的用能峰值重合系数；结合单个工艺机台的运行数据、用能数据以及工艺机台组的用能峰值重合系数，给出工艺机台组用能数据。通过本发明给出的工艺机台组用能数据的获取方法，在基于设计阶段设备标准属性的情况下，即可快速、准确的给出动力系统所需提供用能的平均量及峰值量。

公开(公告)号：CN117575414B

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202311592856.8

申请日：2023-11-27

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 程星华 ,  王熙程 ,  李强 ,  程孟璇 ,  杨晨 ,  蒋星波

IPC分类号： G06Q10/0639 ,  G06Q50/04 ,  G06Q10/0631

摘要： 本发明公开了一种基于动力设施的半导体生产线布局评价方法及装置，方法包括如下步骤：获取半导体生产线的动力供应类别，以及对应的动力需求设备布局信息；分析并给出每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数；给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度；基于动力需求设备集中度，评价并调整动力供应系统的布局；融合每种动力供应类别下的动力需求设备集中度，给出综合动力需求设备集中度，完成基于动力设施的半导体生产线布局的评价。本发明同时考虑半导体生产线布局中的动力需求设备与动力供应系统，并分别根据各个权重因子，准确实现半导体生产线布局的评价。

公开(公告)号：CN117932976A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202410324627.6

申请日：2024-03-21

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 李强 ,  陆丹 ,  安利壮 ,  罗桥 ,  程孟璇

IPC分类号： G06F30/20 ,  G06Q10/063 ,  G06Q50/04

摘要： 本发明公开了一种工艺机台组用能数据的获取方法及装置，获取方法具体包括如下步骤：确定用能类型，给出离散型工厂中进行用能数据获取的工艺机台组；获取工艺机台组内的工艺机台数量以及单个工艺机台的运行数据，其中，运行数据包括负荷率、开机率和用能峰值系数；基于预先构建的用能分析模型，给出工艺机台组内单个工艺机台的用能数据，以及工艺机台组的用能峰值重合系数；结合单个工艺机台的运行数据、用能数据以及工艺机台组的用能峰值重合系数，给出工艺机台组用能数据。通过本发明给出的工艺机台组用能数据的获取方法，在基于设计阶段设备标准属性的情况下，即可快速、准确的给出动力系统所需提供用能的平均量及峰值量。

公开(公告)号：CN117314263B

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202311593620.6

申请日：2023-11-27

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 杨光明 ,  李强 ,  程星华 ,  罗桥 ,  张东 ,  单云凤 ,  陆丹 ,  程孟璇

IPC分类号： G06Q10/0639 ,  G06Q50/04

摘要： 本发明公开了一种电子工厂生产线布局的评价方法及装置，方法具体包括如下步骤：采集电子产品的生产工艺信息以及电子工厂生产线的布局信息；解析布局信息，获取布局中的建筑信息及电子工厂生产线中的各个生产设备信息；基于布局中的建筑信息，给出电子工厂生产线的生产区域信息；结合生产区域信息，匹配对应的各个生产设备；根据各个生产设备信息，结合电子产品的生产工艺信息，重构每个生产设备的工艺数据，得到每个生产设备的评价指标；对各个生产设备的每个评价指标进行分析，获取电子工厂生产线布局的评价结果。本发明针对电子工厂生产线布局的评价，结合物理布局、逻辑布局及工艺布局，实现对布局质量的准确、快速评估。

公开(公告)号：CN117724432A

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202410173232.0

申请日：2024-02-07

申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 ,  世源科技工程有限公司

发明人： 李强 ,  程孟璇 ,  徐策 ,  冷芳赫 ,  安利壮 ,  王熙程 ,  赵晓妍

IPC分类号： G05B19/418

摘要： 本发明公开了一种半导体自动物料搬运系统布局的生成方法及装置，生成方法具体包括如下步骤：对获取的用于半导体生产的设备布局信息进行解析，给出对应的物料搬运信息；分析设备布局信息及物料搬运信息，生成自动物料搬运系统的初始布局，其中，自动物料搬运系统包括轨道及存储设施；结合设备布局信息，通过物流仿真模型，对初始布局进行物流仿真验证；根据物流仿真验证的结果，优化初始布局，实现针对半导体的自动物料搬运系统布局。本发明给出的方案能快速、高效的给出适用半导体生产的自动物料搬运系统的布局，并且结合物流仿真模型验证并优化布局方案，提升半导体生产中物流运转效率，减少物流方面的投资成本。

公开(公告)号：CN103630382B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201310015092.6

申请日：2013-01-16

申请人： 世源科技工程有限公司

发明人： 李卫 ,  李强 ,  黄文胜

IPC分类号： G01M99/00 ,  G01F1/34

摘要： 目前化学过滤器在IC，TFT，OLED，PDP等电子厂房普遍采用。但化学过滤器的寿命目前还没合适的现场测试的办法。目前常用的检查方法是分别对化学过滤器的进风口和出风口进行化学气氛的采样，然后对采样的样本拿到实验室进行分析。如果分析的结果显示进风口和出风口的化学气氛的浓度基本上没变化了，就说明该达到了化学过滤器的使用寿命。但是，这种检测方式不能进行在线检测，并且检测成本高、周期长并且需要使用昂贵的实验分析仪器。本发明的目的就在于针对现有技术中的不足，提供一种检测成本低、实时性好、使用便捷、操作简单的化学过滤器寿命检测设备以及使用该设备的检测方法。