发明公开
- 专利标题: 一种用于摆片平桥的蚀刻时间估算装置及方法
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申请号: CN202211136694.2申请日: 2022-09-19
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公开(公告)号: CN117756412A公开(公告)日: 2024-03-26
- 发明人: 刘洋 , 于湘涛 , 魏超 , 杨杏敏 , 李平 , 田丰 , 秦淑斌 , 袁枫
- 申请人: 航天科工惯性技术有限公司
- 申请人地址: 北京市丰台区海鹰路1号院2号楼3层
- 专利权人: 航天科工惯性技术有限公司
- 当前专利权人: 航天科工惯性技术有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市丰台区海鹰路1号院2号楼3层
- 主分类号: C03C15/00
- IPC分类号: C03C15/00 ; C03B20/00 ; G01P15/00 ; G01P1/00 ; G01L5/00
摘要:
本发明提供了一种用于摆片平桥的蚀刻时间估算装置及方法,该装置包括固定组件、推力加载单元、第一压力采集单元和数据处理单元;固定组件包括底座和分别设置在底座上的用于固定摆片的第一固定座和用于固定推力加载单元的第二固定座;推力加载单元包括一侧敞口的壳体和设置在壳体内的滑块与伺服电机;伺服电机用于推动滑块,以使滑块从第一预设位置滑动至第二预设位置;第一压力采集单元的第一端与滑块的第二端相连,第二端与摆片的中心摆相接触,第一压力采集单元用于采集在滑块处于第二预设位置时的压力值;数据处理单元用于根据压力值获取摆片平桥的蚀刻时间。本发明能够解决现有技术中摆片平桥蚀刻方法耗时长且测量精度差的技术问题。