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公开(公告)号：CN118056630A
公开(公告)日：2024-05-21
申请号：CN202211450664.9
申请日：2022-11-18
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
IPC分类号： B23K26/16 , B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了用于透明硬脆材料的自动化激光切割方法，具体包括获取待切割透明硬脆材料工件的表面质量、待切割工件的尺寸和待切割工件的厚度。根据待切割工件的表面质量判断是否可以对该工件进行加工，若否，则将待加工工件放入废料盘；若是，则根据待切割工件的尺寸选择预设激光切割工艺参数，并将其放入相应切割工位；根据待切割工件的厚度调整激光切割工艺参数并进行透明硬脆材料镂空结构的激光自动切割。本发明解决了由于来料种类多、一致性差和质量不稳定造成的需要人工分类和人工调整工艺参数的问题，提高了激光切割的质量和效率，提升了激光切割自动化水平。
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公开(公告)号：CN117430337A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202210820697.1
申请日：2022-07-13
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种摆片的蚀刻方法及蚀刻控制系统，该蚀刻方法先通过摆片蚀刻预试验，统计中心摆的剩余重量与剩余蚀刻时间的关系曲线；将装配蚀刻掩膜的批量石英片按照预定蚀刻时间完成第一次蚀刻；测量批量石英片中心摆的剩余重量，按剩余重量区间将石英片分组，计算每个分组的平均剩余重量，计算每组石英片的剩余蚀刻时间；每组石英片按照剩余蚀刻时间完成第二次蚀刻。该方法通过测量剩余质量间接控制平桥厚度一致性，仅需要操作人员完成蚀刻掩膜装版及拆卸，极大降低了操作难度，提升了流程控制水平、连续生产效率。
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公开(公告)号：CN110860504B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201810984045.5
申请日：2018-08-28
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种石英玻璃熔渣的清洗装置及清洗方法，装置包括石英玻璃固定装置、振动台、振动驱动装置、超临界二氧化碳流体产生装置、均布器、第一清洗剂存储装置、第二清洗剂存储装置以及第三清洗剂存储装置；采用了超临界流体、化学清洗剂与机械振动的复合清洗方式，三者能产生协同效应，机械振动能增强化学清洗剂与熔渣的接触面积，同时也增强超临界流体的渗透性，而超临界流体可进一步增强化学清洗剂对熔渣的渗透性，从而增强化学清洗剂与熔渣的反应能力。
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公开(公告)号：CN112763802A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201911064504.9
申请日：2019-11-04
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
摘要： 本发明公开一种电阻检测装置及方法，该装置包括用于容纳挠性结构的载体，所述载体的内部设有多个可调节位置的检测点，在检测时检测点可根据其与挠性结构的相对位置调整其位置。该装置结构简单，灵活性高，能同时实现多个单面电阻及双面电阻的检测取样，不会造成挠性结构的损坏。
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公开(公告)号：CN110724920A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201810781004.6
申请日：2018-07-17
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种Au薄膜的制备方法，通过控制平面Cr靶和平面Au靶的运动速度，同时调节平面Cr靶和平面Au靶的靶基距，使Cr层和Au薄膜的成膜速度成比例变化，在Cr层和Au薄膜之间形成合金过渡层，并且在此过程中，使Au的功率密度相对于Cr的功率密度线性调整，减少了因Cr和Au的溅射产额差异造成的成膜速度不一致，与采用合金靶镀制过渡层相比，可以实现Cr、Au成分的连续变化，降低异质结构之间热膨胀系数等指标的非连续性，进而提高了Au薄膜结构的稳定性。
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公开(公告)号：CN105195487B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201510468665.X
申请日：2015-08-04
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
摘要： 本发明提出一种石英玻璃清洗方法，通过采用有机溶剂加热浸洗、低压汞灯照射和热处理、稀释的H2SO4：HF溶液对石英玻璃的刻蚀反应以及超声振动和去离子水高压喷淋等处理方式，将各种处理方法进行有机组合，确定了其先后次序及关键工艺参数的最佳范围，使各种处理方法之间相互配合，最大限度发挥作用，有效去除了石英玻璃表面的橡胶类沾污。
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公开(公告)号：CN102923962B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210414161.6
申请日：2012-10-26
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
IPC分类号： C03C15/00
摘要： 本发明提供一种加速度计摆片平桥的蚀刻方法，通过蚀刻窗口参考面、同时蚀刻平桥和窗口等步骤实现对加速度计摆片平桥的精确刻蚀。本发明提供的方法只需对窗口参考面的初始深度进行测量即可精确控制平桥厚度，蚀刻加工的平桥厚度精度可达±1μm，提高了加速度计摆片的加工精度，蚀刻得到的平桥厚度，不受原材料、腐蚀液及蚀刻速率的影响。
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公开(公告)号：CN102520202B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110418551.6
申请日：2011-12-15
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种加速度计摆片应力的检测方法，其是利用熔融石英存在残余应力时的光弹性效应，将摆片置于偏振光路中，通过放大镜头和图像采集装置获得摆片上局部区域的实时图像，通过计算机的分析处理得到所述图像中摆片待检测部位实时的相对光强，通过具有正交偏振方向的两个偏振片的同步旋转，获得摆片上待检测部位的应力方向，根据相对光强和应力方向与偏振方向的夹角获得摆片上待检测部位的应力大小。本发明操作简单，对摆片产品无损伤，可根据光强测量直接判断应力大小，检测效率高。
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公开(公告)号：CN117756412A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202211136694.2
申请日：2022-09-19
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种用于摆片平桥的蚀刻时间估算装置及方法，该装置包括固定组件、推力加载单元、第一压力采集单元和数据处理单元；固定组件包括底座和分别设置在底座上的用于固定摆片的第一固定座和用于固定推力加载单元的第二固定座；推力加载单元包括一侧敞口的壳体和设置在壳体内的滑块与伺服电机；伺服电机用于推动滑块，以使滑块从第一预设位置滑动至第二预设位置；第一压力采集单元的第一端与滑块的第二端相连，第二端与摆片的中心摆相接触，第一压力采集单元用于采集在滑块处于第二预设位置时的压力值；数据处理单元用于根据压力值获取摆片平桥的蚀刻时间。本发明能够解决现有技术中摆片平桥蚀刻方法耗时长且测量精度差的技术问题。
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公开(公告)号：CN114378381B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202011129950.6
申请日：2020-10-21
申请人： 航天科工惯性技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种石英玻璃的盲槽加工装置及盲槽加工方法，其中，所述盲槽加工装置包括：反应池，以盛装石英玻璃及电解液；工具电极，设于反应池中，以作为阳极插入电解液；辅助电极，设于反应池中，以作为阴极插入电解液；超声振动机构，用于控制工具电极超声振动。本发明结构设计合理巧妙，结构简单，通过工具电极的超声振动带动了加工位置的电解液循环，在工具电极端部周围形成气层，从而增加火花放电的时间，提升加工效率；结合压力传感器和位移控制器，使工具电极施加在石英玻璃上的压力恒定，提高石英玻璃中盲槽深度的加工精度；极大地提高了盲槽加工的效率，解决了电化学加工难以在生产中实现在石英玻璃上的应用的问题。
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