一种高功率MCM芯片封装结构及其制备方法
摘要:
本发明涉及芯片封装技术领域,具体涉及一种高功率MCM芯片封装结构及其制备方法,其中一种高功率MCM芯片封装结构中包括壳体、晶粒、重布线层和支撑板,在重布线层的作用下,将多个晶粒上的第一触点传导至壳体外侧,便于对晶粒进行连接。晶粒在工作时发出的热量能够加热微孔格栅,微孔格栅内的冷却液能够蒸发并脱离微孔格栅,并逐渐在蒸发腔内扩散,在冷却液蒸发的过程中能够吸收热量,蒸发后的冷却液在蒸发腔扩散时出现冷凝现象,同时冷凝后的冷却液再次被微孔格栅吸附,冷凝是放热的过程,在冷却液的作用下,将晶粒发出的热量扩散至整个蒸发腔,更加便于晶粒进行散热,多个晶粒构成的芯片散热效果提升。
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