本发明提供了一种低氧含量氮化硅粉末及其铝热还原方法和应用，属于氮化硅陶瓷技术领域。本发明提供的低氧含量氮化硅粉末的铝热还原方法，包括以下步骤：将氮化硅粉末和铝粉进行球磨混合，得到混合粉末；将混合粉末进行铝热还原，然后和酸性溶液混合，得到低氧含量氮化硅粉末，铝热还原的温度为600～800℃，铝热还原的保温时间为3～5h。本发明在氮化硅粉末中添加铝作为还原剂，利用铝热还原方法去除二氧化硅，降低氮化硅粉末中的氧含量，所需的反应温度低，反应条件更加温和。实施例的结果显示，本发明得到的氮化硅粉末中氧含量≤0.93wt.％，制备成氮化硅陶瓷后热导率＞75W/m·K。