发明公开
- 专利标题: 基于宽光谱监控的镀膜工艺方法
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申请号: CN202311873459.8申请日: 2023-12-29
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公开(公告)号: CN117867461A公开(公告)日: 2024-04-12
- 发明人: 裴宇辉 , 冀鸣 , 刘伟基 , 郭一鸣 , 易洪波 , 秦振江 , 赵刚
- 申请人: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
- 申请人地址: 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1(住所申报);
- 专利权人: 佛山市博顿光电科技有限公司,中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人: 佛山市博顿光电科技有限公司,中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1(住所申报);
- 代理机构: 广州市律帆知识产权代理事务所
- 代理商 余永文
- 优先权: 2022117440817 20221230 CN
- 主分类号: C23C14/54
- IPC分类号: C23C14/54 ; C23C14/46
摘要:
本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,所述方法包括:安装待镀膜的工件及监控片;初始化并加载镀膜工艺;绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置;镀膜工艺程序的自动执行;在镀膜过程中,实时采集监控片的光谱能量数据,拟合出当前膜层的真实厚度;并以此计算换层判停时间并触发换层判停逻辑;在换层后,对下一个膜层进行镀膜,直至完成镀膜工艺中的所有膜层。该技术方案,可以准确地定位到换层位置,避免了采用常规的以评价函数方法来控制换层的延时缺陷,可以确保成膜过程中对各个膜层厚度监控的精准度,特别是在多层镀膜时,能够显著减少换层误差累积,提升了光学薄膜产品的镀膜质量。
IPC分类: