基于宽光谱监控的镀膜工艺方法
摘要:
本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,所述方法包括:安装待镀膜的工件及监控片;初始化并加载镀膜工艺;绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置;镀膜工艺程序的自动执行;在镀膜过程中,实时采集监控片的光谱能量数据,拟合出当前膜层的真实厚度;并以此计算换层判停时间并触发换层判停逻辑;在换层后,对下一个膜层进行镀膜,直至完成镀膜工艺中的所有膜层。该技术方案,可以准确地定位到换层位置,避免了采用常规的以评价函数方法来控制换层的延时缺陷,可以确保成膜过程中对各个膜层厚度监控的精准度,特别是在多层镀膜时,能够显著减少换层误差累积,提升了光学薄膜产品的镀膜质量。
0/0