基于刻槽式悬浮波导环形谐振腔的灵敏度增强型宽频带声传感器
摘要:
本发明涉及基于刻槽式悬浮波导环形谐振腔的灵敏度增强型宽频带声传感器,包括下包层,设在下包层上且与下包层为一体结构的上包层,在所述上包层和下包层之间设有单直波导芯层和环形波导芯层,且所述单直波导芯层和环形波导芯层位于同一平面上,所述单直波导芯层与环形波导芯层之间具有耦合间距,所述下包层相对环形波导芯层的另一端面上设有悬浮波导空气槽,所述悬浮波导空气槽位于环形波导芯层的正下方;在环形谐振腔中利用声致悬浮波导产生的机械振动效应可以增强微腔对声波的响应,从而进一步增强声传感灵敏度。
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