一种利用腐蚀液制备玻璃基板通孔的方法
摘要:
本发明公开了一种利用腐蚀液制备玻璃基板通孔的方法,包括如下步骤:将激光改性后的玻璃基板浸没在腐蚀液中,搅拌循环腐蚀液,在第一温度下腐蚀通孔使其出口直径至第一预设值;提高温度至第二温度后继续腐蚀一段时间直至达到预设出口直径大小。本发明通过利用腐蚀液中提供的氟化物和混合酸作为主要腐蚀剂原料与玻璃基板反应,可以根据不同种类的玻璃来调整混合酸和氟化物的浓度比例,调节PH,再通过特定的循环速度和腐蚀温度变化,从而灵活调节和稳定控制腐蚀速度、保证通孔锥度和孔径的良率。
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