发明公开
- 专利标题: 一种利用腐蚀液制备玻璃基板通孔的方法
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申请号: CN202211257286.2申请日: 2022-10-14
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公开(公告)号: CN117923804A公开(公告)日: 2024-04-26
- 发明人: 薛成 , 覃榆森 , 张松 , 刘志磊 , 朱凡 , 陆红艳
- 申请人: 帝尔激光科技(无锡)有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市锡山经济技术开发区春晖东路142号
- 专利权人: 帝尔激光科技(无锡)有限公司
- 当前专利权人: 帝尔激光科技(无锡)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市锡山经济技术开发区春晖东路142号
- 代理机构: 武汉东喻专利代理事务所
- 代理商 肖康
- 主分类号: C03C15/00
- IPC分类号: C03C15/00
摘要:
本发明公开了一种利用腐蚀液制备玻璃基板通孔的方法,包括如下步骤:将激光改性后的玻璃基板浸没在腐蚀液中,搅拌循环腐蚀液,在第一温度下腐蚀通孔使其出口直径至第一预设值;提高温度至第二温度后继续腐蚀一段时间直至达到预设出口直径大小。本发明通过利用腐蚀液中提供的氟化物和混合酸作为主要腐蚀剂原料与玻璃基板反应,可以根据不同种类的玻璃来调整混合酸和氟化物的浓度比例,调节PH,再通过特定的循环速度和腐蚀温度变化,从而灵活调节和稳定控制腐蚀速度、保证通孔锥度和孔径的良率。