本发明涉及数控机床误差分析与精度控制技术领域，具体涉及基于面齿轮专用磨齿机的面齿轮加工误差模型建立方法，基于碟形砂轮与虚拟插齿刀位置关系，建立碟形砂轮齿面数学模型；基于面齿轮和碟形砂轮齿面数学模型位置关系，建立面齿轮的齿面数学模型；引入机床误差特性，建立碟形砂轮和面齿轮的面齿轮齿面误差模型；基于面齿轮齿面误差模型进行规律分析，建立误差补偿方法，该加工误差模型分析主要误差参数给面齿轮型面加工带来的法向误差影响规律，可量化误差参数对齿面精度的影响，得到面齿轮齿面误差拓扑分布，评价齿面精度，为进行面齿轮数控磨削加工机床参数调整提供理论依据，解决消除几何误差对磨削面齿轮加工精度的影响的问题。