发明公开
- 专利标题: 一种重布线层结构及其制备方法、半导体封装结构
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申请号: CN202410338192.0申请日: 2024-03-25
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公开(公告)号: CN117936517A公开(公告)日: 2024-04-26
- 发明人: 李更 , 姚大平
- 申请人: 江苏中科智芯集成科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号凤凰湾电子信息产业园101-106厂房
- 专利权人: 江苏中科智芯集成科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏中科智芯集成科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号凤凰湾电子信息产业园101-106厂房
- 代理机构: 郑州知倍通知识产权代理事务所
- 代理商 李玲玲
- 主分类号: H01L23/538
- IPC分类号: H01L23/538 ; H01L21/768
摘要:
本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种重布线层结构及其制备方法、半导体封装结构,重布线层结构包括基底、介电层、接垫、导电层和对准结构,对准结构设置于介电层上,且对准结构上开设有用于放置焊球的弧形槽;导电层电连接接垫与弧形槽的内表面;对准结构上设置有加固结构,加固结构为导电材料并与导电层电接触。加固结构能在焊球向下移动与弧形槽配合时产生形变,在焊球熔融后,加固结构与焊球熔融为一体,由于加固结构倾斜设置,且朝向弧形槽的一侧与平台面的夹角为锐角,在焊球熔融时会流向加固结构与平台面之间一部分,增加焊球与导电层的接触面积,且加固结构能够进一步阻碍焊球与弧形槽脱离,提高焊球与导电层接触的稳定性。
公开/授权文献
- CN117936517B 一种重布线层结构及其制备方法、半导体封装结构 公开/授权日:2024-06-04
IPC分类: