发明公开
- 专利标题： 连续波和脉冲源的RF阻抗匹配
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申请号： CN202311402469.3申请日： 2023-10-26
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公开(公告)号： CN117955449A公开(公告)日： 2024-04-30
- 发明人: I·A·布塔 , T·洛齐克
- 申请人： ASM IP私人控股有限公司
- 申请人地址： 荷兰阿尔梅勒
- 专利权人： ASM IP私人控股有限公司
- 当前专利权人： ASM IP私人控股有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰阿尔梅勒
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 焦玉恒
- 优先权： 63/435,433 20221227 US 63/435,433 20221227 US 63/435,433 20221227 US
- 主分类号： H03H7/38
- IPC分类号： H03H7/38 ; H03L7/26
摘要：
在一实施例中，一种用于半导体制造的系统包括连续波(CW)射频(RF)源和脉冲RF源。该系统还包括位于CW RF源和负载之间的匹配网络以及控制电路。控制电路接收指示脉冲RF信号的一个或多个信号，并选择脉冲RF信号的一部分。控制电路然后在脉冲RF信号的选择部分期间采样至少一个参数。基于至少一个参数，控制电路引起至少一个可变电抗元件的改变，这使匹配网络在CW RF源和负载之间阻抗匹配。
