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公开(公告)号：CN118590077B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202411068953.1
申请日：2024-08-06
申请人： 深圳市瀚强科技股份有限公司
摘要： 本申请提供一种射频电源设备以及射频电源系统，涉及射频技术领域，射频电源设备包括N个射频源和N个串联谐振单元；N个射频源用于分别输出N个射频信号，且N个射频信号的频率互不相同；N个串联谐振单元分别位于N个射频源的输出路径中，每一串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过或不通过；其中，至少一个串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过，以使得对应的至少一个射频源输出的至少一个射频信号传输至负载，其中，N≥2。本申请可向负载输出一个或多个不同频率的射频信号。
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公开(公告)号：CN117914278B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410313592.6
申请日：2024-03-19
申请人： 南京正銮电子科技有限公司
IPC分类号： H03H7/38
摘要： 本发明公开了一种大功率合成器，包括至少两级合成电路，所述合成电路包括多个合成单元，每个合成单元包括两个信号输入端一个信号输出端，每个信号输入端均与一个阻抗变换单元的输入端连接，同一个合成单元中的两个阻抗变换单元的输出端与所述合成单元的信号输出端连接；前一级合成电路的输出端与下一级合成电路的输入端连接；整个大功率合成器中的所有阻抗变换单元作为一个整体进行阻抗匹配，所述阻抗变换单元的传输等效电阻为特性阻抗的根号2倍，电长度为90度；该大功率合成器通过将整个电路中所有阻抗变换单元的作为一个整体进行阻抗匹配，不单独对每级合成电路进行50Ω的匹配，能大大减少单级匹配LC数量，减小了空间占用。
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公开(公告)号：CN118554900B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410992865.4
申请日：2024-07-24
申请人： 华南理工大学
摘要： 本发明公开一种基于槽线耦合巴伦的宽带放大器，涉及雷达和通信技术，针对现有技术带宽不足等问题提出本方案。包括依次信号连接的输入侧耦合巴伦、放大模块、输出侧耦合巴伦和LC匹配网络；输入侧耦合巴伦通过槽线耦合结构对放大模块输入差分射频信号以及差分源控信号；放大模块基于差分源控信号将差分射频信号放大并分两路输出；输出侧耦合巴伦通过槽线耦合结构将放大模块放大的两路差分射频信号经过LC匹配网络对外输出；LC匹配网络用于匹配输出侧耦合巴伦的输出阻抗。优点在于提供宽带的输入匹配，解决现有三耦合变压器因为输入信号单端转差分时相位幅度误差较大导致的额外损耗等问题。
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公开(公告)号：CN114244307B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111554440.8
申请日：2021-12-17
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC分类号： H03H7/38
摘要： 本发明提供一种匹配器及其阻抗匹配方法，该匹配器包括信号采集模块，用于采集匹配器的传输线缆的电压信号、电流信号以及前向功率信号和反射功率信号；信号处理模块，用于获得幅值差信号和相位差信号；控制模块，用于判断幅值差信号和相位差信号是否均等于零；模数转换模块，用于将模拟信号转换为数字信号；阻抗计算模块，用于计算获得匹配器的阻抗可变元件的目标数值；控制模块，还用于计算获得阻抗可变元件的调整方向及调整量，判断幅值差信号和相位差信号分别是正值还是负值，并根据判断结果确定阻抗可变元件对应的调整方向为增大还是减小；控制执行模块调整阻抗可变元件的数值。本发明可以解决匹配过程中出现的反复调整的问题，提高匹配精度。
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公开(公告)号：CN118737790A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202310324026.0
申请日：2023-03-29
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备，基于射频电源的反射功率与反射系数实时数据切换阻抗匹配器的控制模式为自动模式或手动模式，在未起辉时和起辉时采用手动模式避免匹配时间慢、匹配时间不一致等问题，在等离子体稳定后采用手动模式，避免腔室阻抗微小波动导致阻抗匹配器过调导致的等离子体波动或灭辉，从而提高阻抗匹配效率及等离子体稳定性。
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公开(公告)号：CN118508764B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410962488.X
申请日：2024-07-18
申请人： 安徽大学
摘要： 本发明公开了一种具有异频独立匹配结构的双频整流电路，属于整流电路技术领域，包括：自上而下依次设置的顶层微带结构、中间介质基板及底层金属地板；其中所述顶层微带结构包括串联的L型匹配网络及异频独立匹配网络，所述L型匹配网络及异频独立匹配网络设置于整流电路的隔直电容与二极管之间，其中所述L型匹配网络用于实现第一个工作频点下的阻抗匹配，其中所述异频独立匹配网络用于实现第二个工作频点下的阻抗匹配。通过上述技术方案，实现了具有双频、高效率、小型化、独立控制的整流电路，满足多重不同无线输能系统的应用。
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公开(公告)号：CN118448837B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410903975.9
申请日：2024-07-08
摘要： 本发明公开了一种短波功率合成器，属于合成器技术领域，包括合成器外壳（1），在所述合成器外壳（1）内设置有上层板（8）和下层板（9），在所述下层板（9）上设置有输入同轴接头（2）和平衡电阻（4），在所述上层板（8）上方设置有输出同轴接头（3），还包括至少四路输入电路，每一路输入电路包含一个匹配单元，所述匹配单元包括匹配电容C1（5）、匹配电感L1（6）和总匹配电容C2（7），所述匹配单元的匹配电容C1（5）和匹配电感L1（6）设置于所述上层板（8）；本发明的合成器大幅减轻的重量、减小了体积，有效进行了阻抗匹配，降低端口驻波和传输损耗，有效地降低了合成器发热，提高了合成器的合成效率。
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公开(公告)号：CN118573140A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410766183.1
申请日：2024-06-14
申请人： 东南大学
IPC分类号： H03H7/38
摘要： 本发明公开了一种基于片上变压器的频率路径可切换匹配器，由低频路径输入端、低频路径输入开关、低频路径输入并联电容、低频路径变压器初级线圈依次并联连接，低频路径变压器次级线圈两端与输出并联电容两端连接；高频路径输入端、高频路径输入开关、高频路径输入并联电容、高频路径变压器初级线圈依次并联连接，高频路径变压器次级线圈两端与输出并联电容两端连接；输出并联电容两端和输出端并联连接；本发明实现低频或高频路径射频信号输入时该路径宽带阻抗匹配，并利用网络呈现出的对另一路径干扰信号的陷波特性，实现对干扰信号的抑制，提升多频段射频收发机信噪比及系统频率可配置性。
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公开(公告)号：CN118554900A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410992865.4
申请日：2024-07-24
申请人： 华南理工大学
摘要： 本发明公开一种基于槽线耦合巴伦的宽带放大器，涉及雷达和通信技术，针对现有技术带宽不足等问题提出本方案。包括依次信号连接的输入侧耦合巴伦、放大模块、输出侧耦合巴伦和LC匹配网络；输入侧耦合巴伦通过槽线耦合结构对放大模块输入差分射频信号以及差分源控信号；放大模块基于差分源控信号将差分射频信号放大并分两路输出；输出侧耦合巴伦通过槽线耦合结构将放大模块放大的两路差分射频信号经过LC匹配网络对外输出；LC匹配网络用于匹配输出侧耦合巴伦的输出阻抗。优点在于提供宽带的输入匹配，解决现有三耦合变压器因为输入信号单端转差分时相位幅度误差较大导致的额外损耗等问题。
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公开(公告)号：CN118508764A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410962488.X
申请日：2024-07-18
申请人： 安徽大学
摘要： 本发明公开了一种具有异频独立匹配结构的双频整流电路，属于整流电路技术领域，包括：自上而下依次设置的顶层微带结构、中间介质基板及底层金属地板；其中所述顶层微带结构包括串联的L型匹配网络及异频独立匹配网络，所述L型匹配网络及异频独立匹配网络设置于整流电路的隔直电容与二极管之间，其中所述L型匹配网络用于实现第一个工作频点下的阻抗匹配，其中所述异频独立匹配网络用于实现第二个工作频点下的阻抗匹配。通过上述技术方案，实现了具有双频、高效率、小型化、独立控制的整流电路，满足多重不同无线输能系统的应用。
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