本发明公开了一种低压炉管的吹扫清洁方法，包括：步骤一、提供处于空闲状态的低压炉管的工艺腔，工艺腔的内壁表面上积累有由炉管沉积工艺形成的内壁薄膜。步骤二、对工艺腔进行升温处理或降温处理，以在内壁薄膜中产生第一热应力并使内壁薄膜中黏附力低的薄膜颗粒剥离，第一热应力大于炉管沉积工艺中对内壁薄膜形成的第二热应力。步骤三、采用脉冲式通入清洁气体对工艺腔进行循环式吹扫清洁，以将剥离的薄膜颗粒带出工艺腔。步骤四、循环吹扫清洁结束后将工艺腔的状态切换到空闲状态。本发明能将工艺腔内部积累的内壁薄膜中黏附力差的薄膜颗粒都剥离，从而能防止黏附力差的薄膜颗粒在后续的炉管沉积工艺中产生剥离风险，最后能提高产品良率。