一种芯片键合方法及其键合设备
摘要:
本发明涉及芯片制造技术领域,涉及一种芯片键合方法及其键合设备,本发明包括:机架和设置于机架上的Y向定龙门,所述机架中部沿Y向设置有两组晶片台,所述机架中部沿X向设置有两组基板工作台,所述基板工作台位于晶片台之间,所述的Y向定龙门左右两侧各设置有两组键合机构,每组键合机构的一侧设有视觉检测装置,每组所述晶片台上方沿X向对称设置有两组翻转机构,每组所述翻转机构沿X向外侧设有蘸胶机构,每组所述晶片台的左侧设有芯片供给机构,所述基板工作台外侧设有基材进出料机构,极大提升了设备整体贴装效率。
公开/授权文献
0/0