发明授权
- 专利标题: 一种芯片键合方法及其键合设备
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申请号: CN202410077745.1申请日: 2024-01-18
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公开(公告)号: CN117995721B公开(公告)日: 2024-07-23
- 发明人: 沈会强 , 唐亮 , 郝术壮 , 张景瑞 , 刘子阳 , 杨学武
- 申请人: 唐人制造(嘉善)有限公司 , 砺铸智能设备(天津)有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路99号3号厂房;
- 专利权人: 唐人制造(嘉善)有限公司,砺铸智能设备(天津)有限公司
- 当前专利权人: 唐人制造(嘉善)有限公司,砺铸智能设备(天津)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路99号3号厂房;
- 代理机构: 嘉兴启帆专利代理事务所
- 代理商 李卉
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/687 ; H01L21/683 ; H01L21/677 ; H01L21/60
摘要:
本发明涉及芯片制造技术领域,涉及一种芯片键合方法及其键合设备,本发明包括:机架和设置于机架上的Y向定龙门,所述机架中部沿Y向设置有两组晶片台,所述机架中部沿X向设置有两组基板工作台,所述基板工作台位于晶片台之间,所述的Y向定龙门左右两侧各设置有两组键合机构,每组键合机构的一侧设有视觉检测装置,每组所述晶片台上方沿X向对称设置有两组翻转机构,每组所述翻转机构沿X向外侧设有蘸胶机构,每组所述晶片台的左侧设有芯片供给机构,所述基板工作台外侧设有基材进出料机构,极大提升了设备整体贴装效率。
公开/授权文献
- CN117995721A 一种芯片键合方法及其键合设备 公开/授权日:2024-05-07
IPC分类: