真空泵、真空泵的轴承保护构造以及真空泵的旋转体
摘要:
本发明提供一种能够在磁轴承无法控制时降低旋转体作用在触底轴承上的动能的真空泵。真空泵(100)具备设置有旋转叶片(102)的旋转体(103)、设置在旋转体的中心的转子轴(113)、悬浮支承转子轴的磁轴承(114)、被设置为与转子轴之间存在间隙、且在磁轴承无法控制时支承转子轴的触底轴承(155,156),具有保护触底轴承的轴承保护构造,轴承保护构造由设置在旋转体和旋转体周边的部件的至少一方的突出部(160)构成,在转子轴向触底轴承发生触底时,旋转体经由突出部与旋转体周边的部件接触,从而降低旋转体作用在触底轴承上的动能。
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