用于真空环境下的激光损伤监测装置
摘要:
本发明提供了一种用于真空环境下的激光损伤监测装置,包括真空腔体、位于真空腔体内的样品靶台、反射镜和镜头,位于真空腔体外的CCD探测器,以及与真空腔体连接的真空隔离窗口;其中,CCD探测器位于真空腔体的上方,镜头与CCD探测器在同一轴心线上,镜头朝向正下方,样品靶台用于放置待测光学元件,反射镜的镜面朝向待测光学元件的法线方向,反射镜用于将待测光学元件的辐照点图像转向传输至镜头,镜头同于采集辐照点图像的光线,并将光线通过真空隔离窗口传输至CCD探测器,CCD探测器用于根据光线投影出待测光学元件的辐照点图像。
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