发明公开
- 专利标题: 用于真空环境下的激光损伤监测装置
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申请号: CN202410172324.7申请日: 2024-02-06
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公开(公告)号: CN118032780A公开(公告)日: 2024-05-14
- 发明人: 赵元安 , 朱翔宇 , 柯立公
- 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址: 上海市嘉定区清河路390号
- 专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区清河路390号
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 骆希聪
- 主分类号: G01N21/88
- IPC分类号: G01N21/88 ; G01N21/01
摘要:
本发明提供了一种用于真空环境下的激光损伤监测装置,包括真空腔体、位于真空腔体内的样品靶台、反射镜和镜头,位于真空腔体外的CCD探测器,以及与真空腔体连接的真空隔离窗口;其中,CCD探测器位于真空腔体的上方,镜头与CCD探测器在同一轴心线上,镜头朝向正下方,样品靶台用于放置待测光学元件,反射镜的镜面朝向待测光学元件的法线方向,反射镜用于将待测光学元件的辐照点图像转向传输至镜头,镜头同于采集辐照点图像的光线,并将光线通过真空隔离窗口传输至CCD探测器,CCD探测器用于根据光线投影出待测光学元件的辐照点图像。