发明公开
- 专利标题: 肖特基型异质结、制备方法及其在太赫兹发射中的应用
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申请号: CN202410241049.X申请日: 2024-03-04
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公开(公告)号: CN118039674A公开(公告)日: 2024-05-14
- 发明人: 黄媛媛 , 刘昊楠 , 徐新龙 , 周译玄 , 曹雪芹 , 席亚妍 , 雷珍
- 申请人: 西北大学
- 申请人地址: 陕西省西安市长安区郭杜教育科技产业区学府大道1号
- 专利权人: 西北大学
- 当前专利权人: 西北大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市长安区郭杜教育科技产业区学府大道1号
- 代理机构: 西安研实知识产权代理事务所
- 代理商 罗磊
- 主分类号: H01L29/24
- IPC分类号: H01L29/24 ; H01L29/06 ; H01S1/02 ; C23C16/30 ; C23C16/26
摘要:
本申请涉及半导体领域,具体提供了一种肖特基型异质结、制备方法及其在太赫兹发射中的应用。该异质结包括半导体层,半导体层表面固定设置有半金属层,半导体层和半金属层形成异质结;半导体层的材料为二硫化钼,半导体层的厚度为0.34‑200nm,半导体层的能带间隙小于等于1.9eV;半金属层的材料为石墨烯,半金属层的厚度为0.4‑0.7nm。制备方法包括:步骤一,利用双温区化学气相沉积法制备半导体层,利用单温区化学气相沉积法制备半金属层;步骤二,通过湿法刻蚀转移技术将半金属层转移到半导体层上。泵浦光照射在本申请异质结上,能够产生太赫兹波,产生的太赫兹波强度较大。
IPC分类: