肖特基型异质结、制备方法及其在太赫兹发射中的应用
摘要:
本申请涉及半导体领域,具体提供了一种肖特基型异质结、制备方法及其在太赫兹发射中的应用。该异质结包括半导体层,半导体层表面固定设置有半金属层,半导体层和半金属层形成异质结;半导体层的材料为二硫化钼,半导体层的厚度为0.34‑200nm,半导体层的能带间隙小于等于1.9eV;半金属层的材料为石墨烯,半金属层的厚度为0.4‑0.7nm。制备方法包括:步骤一,利用双温区化学气相沉积法制备半导体层,利用单温区化学气相沉积法制备半金属层;步骤二,通过湿法刻蚀转移技术将半金属层转移到半导体层上。泵浦光照射在本申请异质结上,能够产生太赫兹波,产生的太赫兹波强度较大。
0/0